当研究室の主力装置

高分解能放射光光電子分光装置@BL2A
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レーザー分子線エピタキシ装置(Laser MBE)@BL2A or A16側室
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高分解能単色X線・紫外線光電子分光装置@実験準備棟
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その他の成膜装置

抵抗加熱蒸着機
スパッタ蒸着機



薄膜評価装置など

X線回折装置
4端子抵抗測定装置


原子間力顕微鏡
ワイヤーボンダー


4端針プローバー


半導体パラメータアナライザー